反滲透水處理設(shè)備（膜分離）技術(shù)的應(yīng)用使反滲透超純水設(shè)備從傳統(tǒng)的陽(yáng)離子交換器、脫碳、陰離子交換器、復(fù)合離子交換器得到了一次進(jìn)步。 　　近年來(lái)開(kāi)始在國(guó)外推廣應(yīng)用的EDI（電去離子）技術(shù)，則是超純水制造技術(shù)的一次革命，從此進(jìn)入了一個(gè)無(wú)需再生化學(xué)品，而能生產(chǎn)出高達(dá)18MΩ·CM的超純水，用于半導(dǎo)體、集成電路等行業(yè)。　 　　反滲透超純水設(shè)備是采用RO技術(shù)設(shè)計(jì)，關(guān)鍵部件、設(shè)備采用進(jìn)口產(chǎn)品，工藝*，質(zhì)量可靠，可擴(kuò)展性強(qiáng)，結(jié)構(gòu)合理占地小，水利用率高，能耗低，全自動(dòng)化運(yùn)行，操作維護(hù)簡(jiǎn)單。一般產(chǎn)水下限0.25m3/hr，上限不限，水回收率一般可達(dá)75%以上，脫鹽率＞98%。產(chǎn)水量隨進(jìn)水溫度下降和反滲透膜老化或受污染有一定變化。 　　反滲透超純水設(shè)備典型工藝流程為： 　　1: 預(yù)處理－反滲透－純化水箱－離子交換器－紫外燈-純水泵－用水點(diǎn) 　　2: 預(yù)處理－一級(jí)反滲透－二級(jí)反滲透（正電荷反滲膜）－純化水箱－純水泵-紫外燈－用水點(diǎn) 　　3: 預(yù)處理－反滲透－中間水箱－中間水泵－EDI裝置－純化水箱－純水泵-紫外燈－用水點(diǎn) 　　4: 預(yù)處理→紫外線殺菌裝置→一級(jí)RO裝置→二級(jí)RO裝置→中間水箱→EDI裝置→脫氧裝置→氮封純水箱→除TOC UV裝置→拋光混床→超濾裝置→用水點(diǎn) 　　水質(zhì)符合美國(guó)ASTM標(biāo)準(zhǔn)，電子部超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)（18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級(jí)）