旋片真空泵裝有滑片的偏置轉子在泵腔內作回轉運動,使由滑片分隔的泵腔工作室容積周期性變化以實現抽氣的真空泵,又稱滑片真空泵。排氣閥浸在油里,油通過排氣閥和油孔進入泵腔,使泵腔內所有運動件的表面覆蓋一層油膜,密封住吸氣腔與排氣腔間的間隙,防止氣體返流。這些油還能減少排氣腔內的有害空間,以消除它們對極限壓力的影響。因此這種真空泵是一種油封式機械真空泵。
隨著技術的發展、制造工藝的完善和優質材料的選用,小型滑片真空泵的轉軸可與電動機軸直聯,轉速可高達1450轉/分,大大提高了泵的抽氣速率和減輕了泵的重量。