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詳細介紹
產品簡介
X軸行程380mm，Y軸行程200mm，高真空直線電機驅動，在低速運行時保持平穩，在高速狀態不產生振動。
真空交叉滾柱直線導軌導向，滾柱是線接觸，比滾珠接觸面積大，運動平穩，交叉排列，多方向受力穩定。十字疊層結構，使整體結構更緊湊。真空潤滑脂涂抹在真空導軌上，不易揮發。
盡可能的消除盲孔，在盲孔和螺栓處有通孔，保證安裝孔開放式結構。結構件選用航空鋁合金件，清洗加工表面，高低溫熱處理消除加工應力，確保使用的長期穩定性。
使用聚四氟乙烯材質的墊圈；螺釘中心帶通孔，結構件消除盲孔，方便通風排氣；軸側面無防塵設計，方便通風排氣；線纜外表為特氟龍材質，適用真空環境；提供真空腔外的配套連接法蘭及線纜。
規格指標
軸系 | 測試項目 | 單位 | 指標要求 | 實測指標 |
X 軸 | 行程 | mm | 380 | 380 |
補償后定位精度 | μm | ±0.75 | ±0.15 | |
雙向重復定位精度 | μm | ±0.2 | ±0.1 | |
直線度 | μm | ±3 | ±1.45 | |
Yaw | arc sec | ±15 | ±7.45 | |
Pitch | arc sec | ±15 | ±2.9 | |
工作速度 | mm/s | 100 | 200 | |
加速度 | g | 0.1 | 0.1 | |
微動步距 | nm | 10 | 10 | |
Y 軸 | 行程 | mm | 200 | 200 |
補償后定位精度 | μm | ±0.75 | ±0.2 | |
雙向重復定位精度 | μm | ±0.1 | ±0.1 | |
直線度 | μm | ±1.5 | ±1.2 | |
Yaw | arc sec | ±7 | ±5 | |
Pitch | arc sec | ±7 | ±3 | |
工作速度 | mm/s | 100 | 100 | |
加速度 | g | 0.1 | 0.1 | |
微動步距 | nm | 10 | 10 | |
XY | 負載 | kg | 15 | 15 |
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