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詳細介紹
結構特點
· 行程170mm*360°
· 非接觸式氣浮直驅結構
· 直線軸雙向重復定位精度100nm
· 軸向跳動誤差170nm
· 徑向跳動誤差60nm
產品細節圖
結構描述
QFU-170-360R雙軸氣浮運動臺分別采用氣浮導軌（Z軸）和氣浮軸承（C軸），直驅電機及光柵尺組成，Z軸采用無摩擦重力平衡氣缸，有效地抵消電機向上持續輸出力，提升精度性能，同時斷使能后負載不會受重力影響而向下脫落。ZC軸為閉式氣浮，側向剛度大，適合負載質心有偏離運行中心線的測量應用。
采用的大理石機體因強度大、硬度高、不生銹、耐腐蝕性、耐磨性及穩定性好，應用于運動臺上質量可靠，品質有保障。大理石做模態分析，優化結構尺寸，可依據客戶的要求做最終設計。
規格參數
軸系 Axis | 測試項目 Test Items | 單位 Units | 指標 Specification |
Z 軸 Z AXIS | 行程 Travel | mm | 170 |
補償后定位精度 Accuracy | μm | ±0.3 | |
雙向重復定位精度 Bi-Dir Repeatability | μm | ±0.1 | |
直線度 Straightness | μm | 1 | |
平面度 Flatness | μm | 1 | |
速度 (空載) Max Speed (No Load) | mm/s | 100 | |
C 軸 C AXIS | 行程 Travel | ° | 360 |
補償后定位精度 Accuracy | arc sec | ±2 | |
雙向重復定位精度 Bi-Dir Repeatability | arc sec | ±1 | |
軸向跳動誤差 Axial Error Motion | nm | 200 | |
徑向跳動誤差 Radial Error Motion | nm | 200 | |
轉速 Max Speed | rpm | 100 | |
微動步距 Min Incremental Motion | arc sec | 30 | |
ZC | 負載 Load | kg | 5 |
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