食品機械設(shè)備網(wǎng)
詳細介紹
產(chǎn)品型號：RBN系列
產(chǎn)品應(yīng)用：RBN系列是一款高精度的單軸精密運動臺，具有亞微米級精度，高動態(tài)性能，結(jié)構(gòu)緊湊，用于晶圓加工及檢測、飛秒激光加工、光存儲、測試測量、光纖對準和科研等領(lǐng)域。
產(chǎn)品特點：
非接觸式直驅(qū)結(jié)構(gòu)驅(qū)動
抗蠕動交叉滾柱導軌導向
百納米級定位精度
納米級微動步距
高動態(tài)性能
結(jié)構(gòu)可接受定制
產(chǎn)品圖片
結(jié)構(gòu)特點
防蠕動交叉滾柱直線導軌導向，解決因保持架蠕動而長時間運行導致行程變化的問題。交叉滾柱為線線接觸，運動平穩(wěn)，交叉排列，多方向受力穩(wěn)定。無鐵芯直線電機驅(qū)動，直驅(qū)電機具有零齒槽、高動態(tài)性能及電流噪聲小等特點，RBN系列精密運動臺在低速運行時能保持平穩(wěn)，在高速狀態(tài)也不會產(chǎn)生振動。
精度性能
非接觸式光柵閉環(huán)反饋，考慮熱膨脹和材料等影響，緊湊結(jié)構(gòu)設(shè)計，獲得高重復定位精度，重復定位精度±0.1μm，直線度和平面度可優(yōu)于±1.25μm，納米級定位抖動，是高精度場所的理想選擇。
微動步距
對有微動步距（最小位移量）要求的應(yīng)用領(lǐng)域，如最小步距運動、對準應(yīng)用等，微動步距≤1nm，對現(xiàn)場使用環(huán)境的要求，更多細節(jié)可聯(lián)系瑞邦精控。
定制化
可定制高真空環(huán)境下的版本，真空度10^-7Torr。根據(jù)應(yīng)用可配置大理石基座、支撐鋼架、隔振臺等整套運動控制方案。
規(guī)格參數(shù)
注：
以上為單軸精度指標，在潔凈間內(nèi)測試，溫度20℃±0.5℃（重復定位精度優(yōu)于±50nm，測量時溫度20℃±0.01℃），濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)的精度測試與負載尺寸及測試點高度有關(guān)，環(huán)境的變化會導致精度變化，如要求非標準測試，請咨詢我們。
1. 取決于平臺安裝表面的平面度。
2. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數(shù)。
3. 空載條件下的精度指標，MAX速度和加速度取決于負載大小。
4. 無特殊項目要求，出廠默認為準。振動等級VC-G，微動步距<0.2nm。
食品機械設(shè)備網(wǎng)