產品特點

單軸氣浮運動臺為非接觸式氣浮導軌結構；高直線度平面度指標；納米級微動步距；精密光柵尺閉環反饋；優化線纜管理系統；密封罩防塵裝置；可搭配各軸使用 。

單軸氣浮運動臺是目前國內性能良好的氣浮臺，特殊的防塵處理裝置。可作為單軸使用，或根據應用與其它軸組裝成系統。搭配上*的控制系統，制造出性價比高的氣浮位移系統，廣泛應用于精密加工，測試測量，印刷、掃描、半導體及光子學等行業。

非接觸式結構

QFL系列采用非接觸式氣浮軸承、非接觸式直線電機驅動和非接觸式反饋裝置，確保免維護運行，因為運動元件間沒有機械接觸，隨著時間的推移，QFL系列不會出現磨損或性能下降，使用壽命幾乎是無限的，氣浮軸承不需要潤滑，只需要清潔及干燥的氣體，是用戶應用的理想選擇。

高精度指標

氣浮導軌基于氣體動靜壓效應，實現無摩擦和無振動的平滑移動，與直驅直線電機，精密光柵尺組成閉環控制，實現高精度移動定位。與摩擦式導軌相比，氣浮直線臺的直線度、平面度，Pitch/Roll/Yaw指標得到了很大的提高，同時由于非接觸式，伺服反饋的跟隨誤差有了質的飛躍，定位精度和重復精度得到了顯著提高。

管線優化管理

經過多年研究，線纜管理對性能有影響，我們精心優化管線彎曲半徑，防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮臺的性能，使用高質量的線纜，以確保*操作，減少停機時間。同時使設備外觀更整潔，創造良好的作業環境。

密封裝置

采用*的密封裝置，不影響直線臺的精度性能，在應用中防止異物進入氣浮導軌。

定制化

可定制大理石或碳化硅材質的氣浮導軌，提升精度性能，行程也可接受定制。

規格指標

注：

以上為單軸精度指標，在潔凈間內測試，溫度20℃±0.5℃（重復定位精度優于±50nm，測量時溫度20℃±0.01℃），濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統的精度測試與負載尺寸及測試點高度有關，環境的變化會導致精度變化，如要求非標準測試，請咨詢我們。

1. 取決于平臺安裝表面的平面度。

2. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數。

3. 空載條件下指標，MAX速度和加速度取決于負載大小。

4. 為保護氣浮導軌建議加裝壓力保護開關。壓縮空氣必須是清潔的（過濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無水（壓力露點-20℃，ISO8573-1級別3）及無油（ISO8573-1級別1）。

5. 無特殊項目要求，出廠默認為準。