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詳細介紹
金屬激光切割機激光波長 1064um
功 率 20W 30W
光束質量 ㎡<1.5
激光輸出功率 10%-*連續可調
激光輸出頻率 20KHz-100KHz連續可調
平臺移動精度 3um
重復精度 ±0.001mm
標記深度 ≤5mm
標記線速度≤7000mm/s
小線寬 0.02mm
劃片規格 2”-6”
劃片厚度 ≤0.8mm
劃片速度 ≤600mm/s
平臺行程 200mm×220mm
冷卻方式 風冷
運行環境溫度 15℃-35℃
電力需求 220V/單相/50Hz/<1200W
激光模塊壽命 100000小時
應用范圍
金屬激光切割機
弗鐳斯激光生產的晶圓激光劃片機具有更強的通用性，使用短脈沖激光進行劃片能夠很好的將熱影響控制在很小的區域內，目前廣泛應用于GPP工藝的晶圓、四元LED晶圓等晶圓的劃片。
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