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詳細摘要： CSE系列團簇中心轉(zhuǎn)運平臺1、產(chǎn)品用途提供定制化的Cluster團簇中心轉(zhuǎn)運平臺，用于將產(chǎn)品或襯底在各工藝腔室之間進行轉(zhuǎn)運，以便客戶進行二次開發(fā)。