食品機械設備網
詳細介紹
真空烤盤爐
應用于LED行業MOCVD石墨盤的真空烘烤工藝
產品特點
● 優質的材質保證了設備的密封性，提高了設備的整體性能
● 法蘭盤冷卻水處理，密封處全部采用氟橡膠密封圈，保證設備的密封性及使用壽命
● 內置冷卻電機，保證設備的低漏率，且運行可靠
● 真空室的壓升率為5×10-3Torr /h，氦質譜儀進行檢漏，漏率在E-11Pa.m3/s級
● 全自動程序控制功能，自動化程度高，自動與手動可隨時轉換，處理異常情況極為方便
● 關鍵部件全部采用進口部件，具有高可靠性
● 具有良好的人機界面
● 系統故障自診功能
● 完善的報警系統及安全系統
● 具有歷史記錄功能
● 可根據用戶的特殊要求增減開發相應功能
技術指標
規格與性能 | VBF-465 | VBF-650 | VBF-800 | VBF-1000 |
安裝尺寸 W×L×H | 2450×2500×2050 | 2480×2500×2150 | 2930×2880×2400 | 3310×3000×2700 |
加熱區尺寸φ×L | Φ520×700 | Φ750×750 | Φ890×1000 | Φ1080×1100 |
工作區尺寸φ×L | Φ480×600 | Φ650×740 | Φ800×900 | Φ1000×1000 |
載重量 | 120Kg～200Kg | |||
加熱體功率 | 環狀石墨加熱器 380V 三相 總加熱功率90～120KVA | |||
絕熱系統 | 多層石墨氈、柔性石墨紙 | |||
高溫度 | 1450℃（超溫限制） | |||
分壓氣體選擇 | N2/混合氣體（Forming gas） | |||
備壓氣體選擇 | N2 | |||
大升溫速率 | 10℃/min(空爐) | |||
溫度均勻性 | ±4℃（800～1400℃） | |||
冷態真空度 | （冷爐、空載、大氣壓狀態下達到10-3 Torr）:≤30min | |||
抽氣速率 | 清潔空爐：30min大于10-2 Torr | |||
腔體漏率 | 5×10-3 Torr/h | |||
大冷卻速率 | 快冷開啟之前可控可編 | |||
真空烤盤爐
食品機械設備網