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詳細摘要： 擴散爐應用于半導體分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽能電池及大規(guī)模集成電路制造領域對晶片進行擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝，可用于2-8英寸工藝尺寸。