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“古老”的CO2激光器如何找到新曙光

*，近年來光纖激光器的迅猛發展，正在不斷蠶食著CO2激光器的*，特別是在金屬加工領域，幾年之間，CO2激光器的主力軍地位已不復存在。在光纖激光器、碟片激光器、半導體激光器等產品開始大行其道的當下，CO2激光器仿佛正在開始退出歷史舞臺。

那么，CO2激光器這種古老的激光技術，真的到了要“退休”的時候了嗎？事實并非如此。

“事實上，CO2激光器的應用市場并不是越來越小，而是越來越大。 “不可否認，光纖激光器的發展的確對CO2激光器的一些應用市場帶來了巨大沖擊，但同樣不可否認的是，市場上依然有很多應用是其他類型的激光器所不能勝任的，只能使用CO2激光器，比如一些非金屬加工應用；與此同時，CO2激光器也在不斷開辟出的新應用。”

CO2激光器本身*的波長，使它成為加工一些非金屬材料的*。一個zui簡單的應用案例是飲料瓶上生產日期等信息的打碼，過去這些信息通常是用油墨印刷到飲料瓶上，這種方式既不環保，成本又高，而現在這些信息的打碼則越來越多地使用CO2激光器來實現，清潔環保，沒有油墨消耗。光纖激光器是無法勝任這項工作的。類似這樣的只能用CO2激光器才能實現的應用，還有很多，“目前我們主要側重的市場就是其他激光器做不了、只能用CO2激光器才能實現的應用。”海容激光說道，“除了市場上已有的一些傳統應用外，我們也在不斷開發一些的新應用。”

他重點介紹了CO2激光器的三種新應用,一種是光纖激光器的制造。雖然光纖激光器從CO2激光器手中搶走了大量市場，但是現在CO2激光器能夠參與到光纖激光器的制造過程中，那么它同樣也能從光纖激光器市場的增長中受益。海容介紹說，大功率的光纖激光器，對光纖純度要求極其苛刻，用傳統的火焰方法加工光纖，可能會帶入一些雜質到光纖中，因此現在很多客戶用CO2激光器來加工光纖激光器中的零件，如拉光纖、光纖連接器等。這對CO2激光器的波長和功率等參數的穩定性要求都是*的。

二種應用是產生極紫外光。在半導體制造工藝中的光刻環節，過去幾十年大多數是通過波長100多納米的深紫外激光實現的，但是隨著摩爾定律的發展，芯片上需要刻劃的電路越來越多，要求的精細度越來越高，這需要波長10納米左右的激光來完成這項任務。“所以客戶就用我們的CO2激光器生成等離子體來產生13.5nm的極紫外光。”

海容激光專注于CO2激光器已經有近二十年的歷史，“我們擁有若干不同的技術來實現波長、功率、頻率等參數的穩定性，同時我們還能實現除了10.6μm之外的一些特殊波長，這些是我們的核心優勢。”海容說。激烈甚至殘酷的市場競爭，讓CO2激光器重新在市場上看到了新的曙光。