私人定制 該產品為定制產品，中外合作，價格需電議，*

山西仁荷微電子科技有限公司主要從事質量流量器的研制、開發、制造、銷售以及質量流量器各種配件模具的設計、加工等相關的服務。產品包括超高質量的氣體質量流量控制儀器及測量儀器、氣體工藝解決方案和服務支持方案。本公司產品氣體質量流量控制器廣泛應用于工業氣體、石油、化工、醫療、電子及微電子、半導體、太陽能光伏、各類實驗室、研究所、生物醫藥、標準檢測等各類*領域，為客戶提供各種氣體管道輸送系統的全面服務。深受廣大客戶的肯定及認同。

我公司生產的氣體質量流量控制器所使用的技術全由我們*技術，具有自主知識產權，產品的每一個部件都有我們自己設計制作，且已取得了多項技術申請 ,每一個部件我們都以精益求精的質量服務廣大客戶，讓客戶體驗到自動化流量控制設備帶來的改變，為現有的產品技術升級提供基礎服務。 致力于為客戶開發“生產工藝*化和成本化”的解決方案及相關產品。并且能夠提供高效優質的售后服務。

產品優勢：
本公司自主開發研制的產品質量流量計，是一種*的智能精密質量流量測量儀表。可直接用來測量管道中介質的質量流量及總量、體積流量及總量、介質的密度、溫度、溶液的濃度以及較均勻混合的兩種液體各自的濃度等參數。 該流量計即使在惡劣的工作環境下也能表現出優異的性能。對工況條件也沒有苛刻的要求。具有抗*力強，測量精度高、量程比大、工作穩定可靠、對安裝要求低、對流體狀態要求低，壓力損失小等優點，且易清洗、具備自排空功能；其基本技術指標已達到*水平， 每臺傳感器都由不銹鋼材料制造，變送器的多種輸出能滿足您的各種需求。我公司生產的產品所使用的技術全由我們*技術，具有自主知識產權，產品的每一個部件都有我們自己設計制作，且已取得了多項技術申請
MF系列

MF-50/100/200C   MF-100/200M
MF產品系列特點：
有很寬的工作壓力范圍，產品可以從真空直到10Mpa;本產品可以使用多種氣體介質（包括一些腐蝕性氣體等等）；有很寬的流量范圍，產品zui小流量范圍可達0~10sccm，zui大流量范圍可達0~30slpm。流量控制范圍是滿量程的2~*（量程比為50:1）。
——耐高壓（zui大工作壓力可達100bar）
——響應時間快≤1sec
——模擬輸入輸出接口（0-5Vdc或4-20mA可選）
——連接尺寸與其他標準質量流量器兼容
——尺寸小
——連接方便，快拆快擰
——交貨周期短
——優惠的價格性價比
——準確率高
——穩定的流量控制
——壓力范圍廣

用途和特點
（MFC）在石化工業、生化、半導體和集成電路工業、特種材料學科、醫藥、蔬果保鮮、加氣飲料、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。其典型的場合包括：電子工藝設備，如：氧化、CVD、MOCVD、擴散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、以及微反應裝置、混氣配氣系統、真空鍍膜設備、光纖熔煉、氣相色譜儀及其他分析儀器。
結構

氣體質量流量計由流量傳感器（Sensor），分流器通道和流量放大電路等部件組成；在氣體質量流量計的基礎上，再加上調節閥門和PID控制電路就構成了。
工作原理
•流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理氣體的質量流量（無需溫度壓力補償）。
•將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大，放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較，再將差值信號放大后去控制調節閥門，閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。
•分流器決定主通道的流量。
•與之配套的流量顯示儀上設置有穩定電源，3位半數字電壓表，設定電位器，外設、內設轉換和三位閥控開關等。
•控制器輸出的流量栓檢測電壓與流過通道的質量成正比，滿量程（F.S）流量檢測輸出電+5V。的流量控制范圍是（2~100）%F.S（程比為50：1）

主要技術指標

編號 項目 MF-200C MF-200M
1 流量規格（N2） 10sccm～30slpm 
2 準確度 ±1％F.S(Full Scale)
3 重復精度 ±0.25％F.S（Full Scale）
4 響應時間 ≤2sec（特別要求時：≤1sec）
5 耐壓 ≤90bar
6 工作環境溫度 0℃～50℃
7 輸入輸出信號 0～5V 0～5V or 4～20mA
8 供電 +15Vdc or +24Vdc   350mA
9 漏率 1×10atm.cc/sec
10 使用范圍 2～100％滿量程