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　　無機質譜儀，主要用于無機元素微量分析和同位素分析等方面，它與有機質譜儀工作原理不同的是物質離子化的方式不一樣：無機質譜儀是以電感耦合高頻放電(ICP)或其他的方式使被測物質離子化。
 

　　無機質譜儀可以分為火花源質譜儀、離子探針質譜儀、激光探針質譜儀、輝光放電質譜儀、電感耦合等離子體質譜儀。無機質譜儀測試速度快，結果精確。
 

　　樣品溶液由蠕動泵和霧化氣的共同作用下經霧化器的霧化作用形成氣溶膠，進入霧室，經霧室選擇后，較小直徑的氣溶膠在約6000-8000K高溫下的等離子體中被去溶、蒸發、原子化和離子化，絕大部分變成帶一個電荷的正離子，離子在高速噴射流的作用下，經采樣錐和分離錐后進入質譜儀的真空系統，在離子透鏡的能量聚焦作用后，不同質荷比離子選擇性通過四極桿質量分析器，后到達檢測器進行檢測。
 

　　無機質譜儀廣泛用于地質學、礦物學、地球化學、核工業、材料科學、環境科學、醫學衛生、食品化學、石油化工等領域以及空間技術和工作等特種分析方面。
 

　　無機質譜的分類如下
 

　　1、按分析目的可分：實驗室無機質譜儀和工業無機質譜儀。
 

　　2、按分析規模可分：小型無機質譜儀和大型無機質譜儀。
 

　　3、按結構可分：臺式無機質譜儀和落地式無機質譜儀。
 

　　4、按進樣方式可分：間歇式進樣無機質譜儀、直接探針進樣無機質譜儀和色譜進樣無機質譜儀等。
 

　　5、按聯用方式可分：無機氣質聯用儀、無機液質聯用儀、等離子體無機質譜儀和無機串聯質譜儀等。