OLYMPUS LEXT  OLS4500 納米檢測(cè)顯微鏡

品牌：奧林巴斯

型號(hào)：OLS4500

■產(chǎn)品介紹

OLYMPUS LEXT OLS4500是結(jié)合了傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡、激光掃描顯微鏡（LSM）以及探針掃描顯微鏡（SPM）功能的一體機(jī)。LEXT OLS4500可以滿足不同樣品的觀測(cè)需求，是一臺(tái)新時(shí)代的觀察、測(cè)量裝置。

LEXT OLS4500可以輕松實(shí)現(xiàn)從毫米到納米的觀察和測(cè)量，放大倍率由幾十倍到高達(dá)百萬(wàn)倍。找到觀測(cè)目標(biāo)（觀察對(duì)象）后，您可以在光學(xué)顯微鏡模式、激光顯微鏡模式和探針顯微鏡模式之間自由切換，而不用擔(dān)心目標(biāo)丟失。并且您可以使用探針顯微鏡迅速而正確的完成觀察，大大縮短了獲取影像的時(shí)間。這些便是OLS4500一體機(jī)的自由操作帶給您的益處。更加方便、更加順利地完成超大范圍觀察和測(cè)量。實(shí)現(xiàn)了自由切換操作的LEXT OLS4500。

光學(xué)顯微鏡是從樣品上方照射可見光（波長(zhǎng)約400 nm到800 nm）， 利用其反射光成像， 能夠放大樣品數(shù)十倍到一千倍左右進(jìn)行觀察。光學(xué)顯微鏡的特長(zhǎng)是可以真實(shí)觀察彩色樣品， 還可以切換觀察方法， 強(qiáng)調(diào)樣品表面的凹凸， 利用物質(zhì)的特性（偏光性）進(jìn)行觀察。OLS4500上可以使用：明視場(chǎng)觀察，微分干涉觀察，簡(jiǎn)易偏振光觀察。

LEXT OLS4500采用405 nm的短波長(zhǎng)半導(dǎo)體激光、高數(shù)值孔徑的物鏡、以及*的共焦光學(xué)系統(tǒng)，可以達(dá)到0.12 μm的平面分辨率。此外，OLS4500配有奧林巴斯*的掃描加掃描型2D掃描儀，可以實(shí)現(xiàn)高達(dá)4096×4096像素的高精度XY掃描。

OLS4500上采用了光杠桿法——通過高靈敏度檢測(cè)出zui前端裝有探針的微懸臂的微小彎曲量（位移）來進(jìn)行觀測(cè)的方法。在懸臂的背面反射激光，并用壓電元件驅(qū)動(dòng)Z軸，使激光照射到光電檢測(cè)器的位置，從而正確讀取Z方向的微小位移。OLS4500配有：接觸模式，動(dòng)態(tài)模式，相位模式，電流模式，表面電位模式（KFM），磁力模式（MFM）。

■應(yīng)用

LEXT OLS4500可用來測(cè)量表面物理形貌，進(jìn)行微納米尺度的三維形貌分析，如3D 表面形貌、

2D 的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、曲率、角度）、表面粗糙度等。

? 精密部件：檢測(cè)對(duì)表面磨損，表面粗糙度，表面微結(jié)構(gòu)有要求的零部件；

? 生命科學(xué)

? 微電子機(jī)械系統(tǒng)：微型器件的檢測(cè)，醫(yī)藥工程中組織結(jié)構(gòu)的檢測(cè)，如基因芯片等

? 半導(dǎo)體：檢測(cè)微型電子系統(tǒng)，封裝及輔助產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

? 太陽(yáng)能：太陽(yáng)能電池片柵線的3D 形貌表征、高寬比測(cè)量，制絨后3D 形貌表征（單

晶金字塔大小、數(shù)量、角度，多晶腐蝕坑形貌、密度），粗糙度分析等

? 紙張：紙張、錢幣表面三維形貌測(cè)量

? LED行業(yè)

■技術(shù)參數(shù)

LSM部分

光源：白光LED，405nm半導(dǎo)體激光

檢出系統(tǒng)：光電倍增管

分辨率：移動(dòng)分辨率10nm，顯示分辨率1nm

物鏡轉(zhuǎn)換器：6孔電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器

物鏡：100x，50x，20x等（可選）

變焦：光學(xué)變焦：1～8X，數(shù)碼變焦：1～8X

SPM部分

光源：659nm半導(dǎo)體激光

檢出設(shè)備：光電檢測(cè)器

zui大掃描范圍：X/Y 方向，30μm x 30μm， Z 方向：4.6μm，

微懸臂規(guī)格：根據(jù)用途不同微懸臂有不同型號(hào)、類型

工作電源：100-240V, 50-60Hz,

總重量：約440KG

設(shè)備咨詢:

Ronnie Chen  +86-21-    +86-21-61533166  ronniechen@nanofocus.com.cn